製品の概要:
ZDC-5227圧力制御器は全レンジ真空測定及び圧力(真空度)制御機能を有し、複合真空計の基礎の上に先進的な自動制御アルゴリズムを植え込み、デジタル駆動ユニットと電磁調節弁を採用し、操作が簡単でわかりやすく、制御効果が良い。
圧力(真空度)制御原理:設定された目標値と現在の真空度の差分値から弁位開度を計算し、電磁調節弁を通じて吸気量を制御し、真空チャンバ内部の圧力の動的平衡を実現する。この方法は上流制御法とも呼ばれる。
真空測定は抵抗ユニットと熱陰極イオン化ユニットからなり、高真空から大気圧まで測定できる。抵抗ユニットは定温測定法を採用し、精度が高く、応答が速い。イオン化ユニットは抵抗ユニットによって自動的にオンとオフを制御し、熱陰極イオン化ゲージが低真空状態でオンすることによる破壊を防止することができる。
技術パラメータ:
配管ゲージ:ZJ-52 T抵抗ゲージとZJ-27イオン化ゲージ
バルブ:専用電磁調整バルブ
測定範囲:1.0 x 105~ 1.0x10-5Pa
圧力制御範囲:1~1.0 x 10-3Pa
制御出力形式:リレー接点出力、常開
リレー負荷:3 A/220 VAC、無感負荷
リレー回路数:6、任意に制御ユニットを指定できる
アナログ出力形式:0 ~ 10 V、0 ~ 5 V、4 ~ 20 mAオプション
シリアル通信:RS-232またはRS-485、Modbus-RTUプロトコル
表示:中国語のLCD液晶画面、科学的な表記法による表示
リフレッシュ時間:0.5秒
給電電源:220 VAC/50 Hz
定格電力:35 W
使用環境:-10 ~ 40℃、湿度85%未満
外形寸法:480*88*270 mm
計器重量:約3.5 Kg。
寸法図: