プラズマ除煙脱臭設備は工業発展の過程で出てきたものであり、プラズマ排ガス浄化器は低温プラズマ排ガス浄化器とも呼ばれ、その主体構造はシャワー充填剤型吸収塔であり、この製品の適用範囲は広く、化学工業、軽工業、捺染、医薬、機械、電子、計器、鉄鋼などの業界生産過程で排出された塩酸、硝酸、硫酸、フッ化水素酸などの排ガス及び硫黄酸化物、窒素酸化物、シアン化物などは、本設備を採用することで、いずれも満足な浄化処理効果を達成することができる。

プラズマ排ガス浄化器の敷地面積は小さく、塔体、吸収液槽、循環ポンプ、吸収液配管システムを完全な設備に組み合わせ、構造がコンパクトで、現場の設置と操作管理に便利で、敷地面積が小さく、地面や屋根板に取り付けても明らかな優位性がある。

プラズマ脱煙脱臭設備は脱霧設計を採用し、伝統的なシャワー塔でよく見られるミストニップ現象を克服し、環境保護に役立つだけでなく、吸収液補給量をさらに低下させない。

プラズマ脱煙脱臭装置におけるプラズマによる化学エネルギーの伝達反応過程におけるエネルギーの伝達は、以下の通りである：

（1）電界＋電子→高エネルギー電子

（2）高エネルギー電子＋分子（又は原子）→（誘導原子、誘導基、遊離基）活性基

（3）活性基＋分子（原子）→生成物＋熱

（4）活性基＋活性基→生成物＋熱

プラズマ排ガス浄化器は主に各種材料の表面改質処理に適している：表面洗浄、表面活性化、表面エッチング、表面グラフト、表面堆積、表面重合及びプラズマ支援化学蒸着。