低温プラズマ浄化器は低温プラズマ排ガス浄化器とも呼ばれる。本プロセスは3つの独立して混合された励起システムに分けられる：マイクロ波励起領域、プラズマ励起領域、極板励起領域。各励起領域には特定の機能がありますが、原理的には類似した点があります。

1、低温プラズマ清浄機のマイクロ波励起領域

本プロセスには3〜9個のマイクロ波励起単位があり、被処理風量の異なる数に応じて、マイクロ波はその周波数が比較的に高いため、ナノ秒の時間内に被処理空間（領域）に有効に作用し、マイクロ波の電力が比較的に小さいため、励起能力上、つまり電子のエネルギー獲得遷移能力には限られており、本設計はマイクロ波を初周波励起源とし、処理中に予備励起エネルギーとするだけである。マイクロ波の予備励起機能により、プラズマ領域、極板領域の励起能力と処理効果を大幅に向上させ、マイクロ波技術の運用により、本技術は同類設備の比較において設備が洗練され、効果が優れているように見える。

2、低温プラズマ浄化器のプラズマ励起

本技術は40本から240本の特殊ガスを充填した無極管からなる低温プラズマ励起区があり、本技術は低気圧の無極ランプを用いて低温プラズマの励起体とし、無極管区で低温プラズマ区を大幅に実現し、低温プラズマはエネルギー遷移過程において極めて強いエネルギー平衡性を持っているため、粒子衝突において失能が極めて少ない。

3、低温プラズマ浄化器極板領域

被処理ガスの流量に応じて、極板間の電圧は12 KV、16 KVから42 KVに分けられ、極板間には十分に高い電圧が加えられ、風を引く作用の下で、極域は負圧の作用により、ファラデー暗域理論、光誘起イオン化理論、自由離理論に従って、常圧または常圧に近い条件下でかなりの確率の粒子が低温プラズマを実現する可能性がある。

3種類の機能領域によると、集中の目的は低温プラズマを実現することであり、理論と実際の使用条件の違いにより、単一の方法で低温プラズマを獲得することは、電力的にも外部条件的にも差がある。本技術は3種類の技術と一体であり、原排ガスの除去率は非常に理想的であり、高濃度排ガスの除去率は84%以上に達することができる。

電気触媒酸化プロセスは低温プラズマ、マイクロ波放電、極板放電と一体であり、実際の使用において排気ガスの有効処理を実現するのは極めて複雑なプロセスであり、全体のプロセスは1秒未満の時間で完成する。理論からモデルまで関連するメカニズムを探究することができて、3種類の方式の集中放電を通じて、排気ガス分子は低エネルギーのEから、千分の1秒の時間内にそれをイオン化させるのに十分なEm級に遷移して、排気ガス分子結合は十分に断裂して、雪崩式の衝突の中で断裂した粒子は品質がもっと小さいため、更に遷移されて、原子炉内の酸素イオン水酸化物イオンと反応して、無害で無味なCO 2、H 2 O及びその他の高価な化合物を生成する。同時に原子炉内のオゾン及び紫外線の作用により、異なる範疇の排ガス化合物を徹底的に除去し、比較的広いスペクトルの除去空間を実地に行った。

汚染物質除去機構

プラズマ化学反応過程において、プラズマが化学エネルギーを伝達する反応過程におけるエネルギーの伝達は大体以下の通りである：

（1）電界＋電子→高エネルギー電子

（2）高エネルギー電子＋分子（又は原子）→（誘導原子、誘導基、遊離基）活性基

（3）活性基＋分子（原子）→生成物＋熱

（4）活性基＋活性基→生成物＋熱

以上の過程から、電子はまず電界からエネルギーを得て、励起あるいはイオン化によってエネルギーを分子あるいは原子の中に移して、エネルギーを得た分子あるいは原子は励起されて、同時に一部の分子はイオン化されて、それによって活性基になります;その後、これらの活性基と分子または原子、活性基と活性基との間に衝突して安定生成物と熱を生成する。また、高エネルギー電子もハロゲンや酸素などの電子親和性の強い物質に捕捉され、マイナスイオンになることができる。このようなマイナスイオンは優れた化学活性を持ち、化学反応において重要な役割を果たしている。