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製品の詳細
無酸化オーブン｜イナート・オーブン｜Inert Gas Ovens
適用範囲：
半導体、光電素子、エネルギー原材料、通信製品、電気機械製品などの無酸化乾燥、硬化、溶接、アニールなどの高温処理に適している。
カプセル化テストすべてのLead PKG、BGA、MCM、フォトリソグラフィプロセス有機ポリマー膜の予備硬化、硬質膜、銀ペースト硬化、型後硬化、めっきアニール、基板の湿気除去、ウエハの乾燥アニールなど。
製品特徴：
1、密封性設計：内材質はSUS 304ステンレス板を用い、内槽全体をアルゴンアークで溶接し、空気がオーブン内に入るのを防止し、同時に不活性ガスを節約する、
2、外部防塵処理：外部材質はSPCC鋼板でソーダ水洗浄後の粉体塗装処理、
3、節能：保温材質は高密度繊維綿で、保温効果が良い；
4、階層構造設計：内箱積層板は高低調整ができ、自由に取り出すことができる、
5、移動自由：箱体には可動キャスターがあり、任意に押して位置を固定することができる、
6、高効率フィルタ：耐高温高効率フィルタを取り付け、クリーンなベーキング環境を得る、（オプション）
7、内循環風設計：強制送風内循環、温度均一を確保する、
8、窒素予熱構造設計、
9、冷系統：冷却システムを配備し、待ち時間を減らし、効率を高めることができる、（オプション）
10、広い温度範囲の選択；
技術パラメータ
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モデル 仕様パラメータ |
EPO-WY80L (A3~D) |
EPO- WY180L (A3~D) |
EPO- WY400L (A3~D) |
EPO-WY1350L (A3~D) |
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内箱サイズ（W*D*H）mm |
350*580*400 |
600*600*500 |
640*640*1000 |
990*1100*1250 |
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作業室数 |
1 シングルキャビティ |
2 ダブルキャビティ |
4 四腔 |
1 シングルキャビティ |
2 ダブルキャビティ |
4 四腔 |
1 シングルキャビティ |
1 シングルキャビティ |
2 ダブルキャビティ |
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外形寸法（W＊D＊H）mm |
実物を基準とする（温度によって外箱の寸法が異なる） |
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動作温度範囲 |
A 3：室温～200℃A 2：室温～250℃B 2：室温～350℃C 2：室温～450℃D：室温～600℃ |
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酸素含有量 |
I：500ppm； II：200ppm； III：50ppmⅣ：20ppm |
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マシン性能 |
せいぎょせいど |
0.1℃ |
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ぶんぷきんいつど |
±2.0℃% |
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しょうおん 時間 |
℃ |
175 |
250 |
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min |
30 |
40 |
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マテリアル |
外部マテリアル |
SPCC鋼板粉体焼塗料処理 |
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内部マテリアル |
SUS＃304ステンレススチールNC曲げ成形 |
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断熱材 |
セラミック繊維綿 |
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シール材 |
耐高温シリコーンゴムを採用 |
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じゅんかんシステム |
マルチフラップ循環ファン |
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ちっそそそうち |
流量計の大きさ調整可能（L/min） |
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ヒータヒータ |
ステンレス高速ヒータ |
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タイマ |
0.1S～9999H |
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おんどせいぎょき |
一般標準型/タッチスクリーンPLCプログラム制御型 |
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その他の部品 |
セパレータラック（ステンレスパンチ盤2枚） |
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あんぜんそうち |
回路システム負荷保護、ファン過負荷保護、温度が計時になると断加熱、故障警告灯 |
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オプション |
①多点測温表示及び記録機能、②酸素含有量分析器、⑥ネットワーク機能、⑦HEPA高効率フィルター、⑧急速冷却システム |
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電源（V） |
220 |
AC 3相5線380 V 50 HZ |
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注：1、以上のデータはすべて環境温度（QT）25℃にある。スタジオ無負荷条件下で測定 | ||||||||||||
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