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製品の詳細
MINILAB
小型実験室にはスピンコーター、ホットプレート、脱イオン水システム、プロセス槽が配置されている。この装置は大学と研究センターの4インチサンプルを効率的にリソグラフィすることができる。
•構成：スピンコータ（Spin-1200 T）、ホットプレート、D.I水システム
•排水管
•排水槽
•排気ガス
・窒素ガス銃
•D.I水鉄砲
•サイズ：1300（幅）*750（奥行き）*1800（高さ）
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