製品の詳細

デジタルMEMSガスセンサは、MEMSプロセスに基づくSi系微熱板と清浄空気中の電気伝導率が低い金属酸化物半導体ガス感受性材料からなる。環境空気中に被検出ガスが存在するとセンサの導電率が変化し、このガスの濃度が高いほどセンサの導電率が高くなる。簡単な回路を使用すれば、電気伝導率の変化をこのガス濃度に対応する出力信号に変換することができる。ガスの濃度が高いほど、センサーの電気伝導率が高くなります。このセンサは感度が高く、コンパクトで精密で、アラームトリガ信号として2本のピンをあらかじめ配置して出力し、環境安全、携帯機器など多くの分野に広く応用できる。

センサーの特徴

MEMSプロセス、安定信頼性、超低消費電力、高感度、抗電磁干渉

主な用途

携帯機器、鉱山安全、医療衛生、現場制御、気象モニタリング

技術指標