MDA-400 Mリソグラフィ装置
リソグラフィ装置の別名：マスクアライメント露光機、露光システム、リソグラフィシステム、リソグラフィ機、紫外露光機など、
MIDASは世界をリードする半導体装置サプライヤーであり、長年にわたってマスクアライメントリソグラフィ機とホモジナイザの研究開発と生産に力を入れており、半導体、マイクロエレクトロニクス、バイオデバイス、ナノテクノロジー分野に広く応用されている。同社は現在、世界で最も早くフォトリソグラフィを商品化した会社の一つであり、豊富な技術研究開発力と設備生産能力を持っている。また、その設備は多くの有名企業、研究開発センター、研究所、大学に採用されている。優れた技術、優れた技術、良好なサービスで、ユーザーの愛顧を勝ち取った。

産地：韓国MIDAS社、唯一のグラフィカルサファイア基板（PSS）フォトリソグラフィ機、高価格比
モデル：MDA-400M
メーカーリンク：http://www.midas-china.com.cn/

MDA-400M

操作と取り付けが容易で、さまざまなサイズの基板を処理し、タッチパネルパネル付きPLC制御

•全手動タイプ

•マスクのサイズは5インチ

•基板サイズは4インチ円形

•均一ビームサイズ4.25*4.25インチ

•光源：紫外線ランプ、350 W

•ビーム波長350 ~ 450 nm

•ビーム均一性<±3%

•365 nm強度~25 mW/㎠

•手動位置合わせ

•アライメント精度1 um

•動作モード：ソフト、ハード、真空接触、近接

•プロセス解像度1 um@1 um PR厚み、真空接点付き

•サイズ（mm）1080（幅）*1060（奥行き）*1580（高さ）