JY-S 100イオンスパッタリング装置（スプリンクラー）-よりグローバル

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JY-S 100イオンスパッタリング装置（スプリンクラー）

JY-S 100イオンスパッタリング装置は構造がコンパクトな卓上小型めっきシステムであり、特に走査電子顕微鏡イメージングにおける非導電サンプルの高品質めっきに適している

製品の詳細

JY-S 100イオンスパッタリング装置は構造がコンパクトな卓上小型めっきシステムであり、特に走査電子顕微鏡イメージングにおける非導電サンプルの高品質めっきに適している。

主な特徴

l高効率低圧直流マグネトロンヘッドによる冷態微細な溶射過程を行い、サンプル表面の損傷を避ける。

l操作は迅速で容易であり、制御するパラメータは排気及びアルゴン換気制御を含む。

lデジタル化された溶射電流制御はサンプル室内の気圧の影響を受けず、一致しためっき速度と高品質のめっき効果を得ることができる。

l多種の金属ターゲット：Au、Au/Pd、、Pt、、Pt/Pd（Auターゲットは標準装備）を使用することができ、ターゲットの交換が迅速で便利である。

技術パラメータ

スパッタシステム
サンプルビンサイズ	120 x120mm
ターゲットざいりょう	Auターゲットは標準で、オプションPt、直径57 mmx 0.1mm厚み
ひょうじゅんしりょうだい	マウント可能12 個SEM サンプルシート、高さ調整可能範囲は60mm
※回転傾斜サンプルテーブル（オプション）	回転速度：0~60rpm連続調整可能、傾斜角度：-90°~ 90°連続調整可能、ステンレスキャビティ：直径120mm X高い75mm；観測窓かんそくまど:直径ちょつけい120mm X高い45mm；標準配置回転テーブル直径40mm、配置可能4 個の標準サンプル台、その他の規格は注文することができます；回転傾斜時にサンプルがガタ落ちしないようにするための二重ロック装置を備えている。
スパッタ電流	マイクロプロセッサ制御、セキュリティインターロック、調整可能、電流5~30mA、プログラム化デジタル制御
ゲージ台	真空：Atm-1*10-3mbar、電流：0~99mA
制御方法	「開始」「一時停止」ボタンを持つマイクロプロセシングコントローラ（1－999s）、自動抽気、スパッタリング、シャットダウン後に自動放気する。
しんくうシステム
抽気速度	133L/MIN
げんかいしんくう	10-4 mbarレベル
ノイズ	56dB

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