ガスフィルタ用ウォータジャケットヒータ

ガスフィルター焼成用ウォータジャケットヒーターFBRシリーズは、200℃の高温でフィルターを焼成する画期的な新しい焼成ヒーターです。

・FBRシリーズは容易に取り付けと取り外しが可能です。

・200℃の高温焼成が可能。

・コントローラユニットは過熱防止のインターロック機能と断線検出機能を備えているため、安全で信頼性が高い。

●遠隔操作可能なデジタルコントローラにより温度、時間などを容易に設定でき、操作が簡単。

●ヒーターユニットの外形は薄く精巧で、スペースを占有しない。

フィルタ内部の金属表面や素子に大気中の水分が吸着されると、N 2浄化だけではほとんど完全に除去できない。また、ガス媒体中にH 2 O及びO 2が存在すると、室温環境中の水分と反応し、フィルタ内及びプロセス室内の反応生成物による汚染及び腐食を引き起こす。そのため、吸水分及びその他の脱気成分を分解するには、200℃以上のベークが最も有効である。PURERON JAPANは、フィルターを200℃で高温焼成できる画期的な新焼成システムを開発し、APIMS測定における1.2 ppbの脱気量（水分量）を実現した。

仕様：